Mikro-Tastkopf und Vorrichtung zum Messen einer Probenoberfläche

摘要

Die vorliegende Erfindung stellt eine Mikrosonde bereit, die einen Feinvorschub ermöglicht, indem ein Piezowiderstandselement auf einem freitragenden Arm ausgeformt wird, sowie eine Vorrichtung zur Messung der Oberfläche einer Probe. DOLLAR A Eine Mikrosonde besteht aus einem ersten Hebelabschnitt mit einem freien Ende, an dem ein Meßtaster ausgeformt ist, einem zweiten Hebelabschnitt, der vom ersten Hebelabschnitt an dessen vorderen Endabschnitt hervorragt, und einem Halterungsabschnitt zur Halterung des zweiten Hebelabschnitts sowie einem ersten Piezowiderstandselement zum Auslenken des zweiten Hebelabschnitts, das am zweiten Hebelabshnitt vorgesehen ist.