发明名称 Vorrichtung zum gleichzeitigen Herstellen ebener Diffusionsfronten in mehreren Halbleiterkoerpern, insbesondere fuer Transistoren oder Dioden
摘要
申请公布号 DE1159567(B) 申请公布日期 1963.12.19
申请号 DE1960T019126 申请日期 1960.10.14
申请人 TELEFUNKEN PATENTVERWERTUNGSGESELLSCHAFT M.B.H. 发明人 DEHMELT DR. FRIEDRICH WILHELM
分类号 C30B31/10;C30B31/14;H01L21/00 主分类号 C30B31/10
代理机构 代理人
主权项
地址