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发明名称 RELIABLE MODULAR, PRODUCTION QUALITY NARROW-BAND KRF. EXCIMER LASER
摘要
申请公布号 IL138064(D0) 申请公布日期 2001.10.31
申请号 IL19990138064 申请日期 1999.02.16
申请人 CYMER, INC. 发明人
分类号 G03F7/20;H01S3/03;H01S3/036;H01S3/08;H01S3/097;H01S3/1055;H01S3/134;H01S3/139;H01S3/225;(IPC1-7):H01S 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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