发明名称 PROCESS FOR PRODUCING AN ELECTRICAL CONTACT ON A SiC SURFACE
摘要
申请公布号 EP0820638(B1) 申请公布日期 2001.10.31
申请号 EP19960907307 申请日期 1996.03.29
申请人 SICED ELECTRONICS DEVELOPMENT GMBH & CO KG 发明人 RUPP, ROLAND
分类号 H01L21/28;H01L21/04;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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