发明名称 |
PROCESS FOR PRODUCING AN ELECTRICAL CONTACT ON A SiC SURFACE |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0820638(B1) |
申请公布日期 |
2001.10.31 |
申请号 |
EP19960907307 |
申请日期 |
1996.03.29 |
申请人 |
SICED ELECTRONICS DEVELOPMENT GMBH & CO KG |
发明人 |
RUPP, ROLAND |
分类号 |
H01L21/28;H01L21/04;(IPC1-7):H01L21/28 |
主分类号 |
H01L21/28 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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