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发明名称 EXTENDED LIFE SPUTTER TARGETS
摘要
申请公布号 IL138642(D0) 申请公布日期 2001.10.31
申请号 IL20000138642 申请日期 2000.09.22
申请人 PRAXAIR S.T. TECHNOLOGY, INC. 发明人
分类号 C23C14/34;H01J37/34;H01L21/203;H01L21/285;(IPC1-7):B32B 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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