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发明名称 PROCESS FOR DIVIDING A SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 EP0944920(B1) 申请公布日期 2001.10.31
申请号 EP19970937458 申请日期 1997.08.14
申请人 OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH & CO. OHG 发明人 LANG, GISELA;MAURER, JOSEF
分类号 H01L21/306;H01L21/301;H01L21/78;(IPC1-7):H01L21/78;H01L23/31 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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