发明名称 |
自动控制气体混合泵 |
摘要 |
一种自动控制气体混合泵,采用配气再反馈装置,预先混合后的气体浓度为100ppm进入储气箱,再将气体浓度为100ppm的混合气体与混合底气如空气或氮气在一定压力下经控制阀反馈至混合泵进气口。再次混合输出气体浓度可达1ppm-100ppm,经控制阀中通道输入到用气装置,通过计算机自动控制的调节器调节所混合气体各成分的比例。 |
申请公布号 |
CN1073878C |
申请公布日期 |
2001.10.31 |
申请号 |
CN99114490.2 |
申请日期 |
1999.10.15 |
申请人 |
中国科学院合肥智能机械研究所 |
发明人 |
张正勇;张耀华;李民强;张蓉 |
分类号 |
B01F5/12;B01F15/04;G05D11/08 |
主分类号 |
B01F5/12 |
代理机构 |
中国科学院合肥专利事务所 |
代理人 |
赵晓薇 |
主权项 |
1.一种自动控制气体混合泵系统,其特征在于采用两台气体混合泵串联与配气反馈装置,泵(4)和泵(5)串联运行,经气体混合泵自动控制调节器a1b1a2b2和a3b3a4b4的调节,其中阀(1)的通道K开G闭,阀(2)的通道K闭G开,混合后的气体浓度为100ppm进入储气箱(7);再将浓度为100ppm的混合气体在恒定压力下经阀(1)反馈至泵(5)进气口与混合底气如空气或氮气在泵(5)中混合,此时阀(2)的通道G闭K开,再次混合后输出气体的浓度可达1ppm-100ppm,经阀(2)中通道K输送到储气容器(6)或其它用气设备。 |
地址 |
230031安徽省合肥市西郊董铺1130号信箱 |