腐蚀、防蚀解析方法

摘要

本发明提供一种在2维、3维和轴对称模型化的区域内,同一或不同区域连续存在2个以上时的腐蚀、防蚀解析方法。把整体分割成区域,根据各个模型化来进行单元分割,把其中的一个区域作为注视区域,把其他区域作为非注视区域。分割面对2个区域是共同的,在分割面上的位置一致的各单元上,电流密度和电位是互相等效的。使非注视区域的离散化的边界积分方程式进行变形,通过对分割面以外的非注视区域的单元上的已知电流密度和电位的关系进行汇总,来表示未知的分割面上的电流密度和电位的关系,以获得的分割面上的电流密度和电位的关系为边界条件,进行注视区域的边界单元解析,求出注视区域整体的电位和电流密度分布。然后以获得的分割面上的电位或电流密度为边界条件,通过再次进行非注视区域的边界单元解析而进行区域整体解析。

主权项

1．一种腐蚀·防蚀解析方法，在2维(开区域和闭区域)、 3维(开区域和闭区域)和轴对称(开区域和闭区域)模型化的6 种区域内，同一种或不同种类的区域连续存在2个以上， 其特征在于：把整体分割成各个区域，根据各自的模型化(2 维、3维和轴对称)进行单元分割，把其中的一个区域作为注视区 域，把其他区域作为非注视区域。 2个区域的分割面对2个区域是共同的，在分割面上的位置一 致的各单元上，电流密度和电位是互相等效的，这些单元上的电流 密度和电位的关系是未知的，将这些单元的电流密度或电位的值逐 个改变并给予这些单元，利用各个给出的电流密度或电位，对与上 述非注视区域对应的离散化的边界积分方程式进行求解，通过对分 割面以外的非注视区域的单元上的已知的电流密度和电位关系进行 汇总，来表示未知的分割面上的电流密度和电位的关系，把这样取 得的分割面上的电流密度和电位的关系作为分割面上的边界条件， 进行注视区域的边界单元解析，求出注视区域整体的电位和电流密 度分布，然后，把在此取得的分割面上的电位和电流密度作为边界 条件，再次进行非注视区域的边界单元解析，这样，对区域整体连 动地进行解析。