发明名称 SLUDGE-FREE TREATMENT OF COPPER CMP WASTES
摘要
申请公布号 EP1149051(A1) 申请公布日期 2001.10.31
申请号 EP19990941034 申请日期 1999.08.10
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES INC. 发明人 DUNGAN, LAWRENCE, JAMES;HAN, LEON
分类号 B24B57/02;B01J49/00;C02F1/42;C02F1/461;C02F1/467;C02F1/469;C02F11/00;C02F11/12;C25C1/12;(IPC1-7):C02F1/42 主分类号 B24B57/02
代理机构 代理人
主权项
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