电子部件的频率调节方法

摘要

本发明揭示一种电子部件的频率调节方法,包括通过将离子束照射在电极上蚀刻设置在电子部件表面的电极的步骤。沿着将电极设置在其上的表面的一个方向,至少移动电子部件和离子束中的一个,进行离子束照射。

主权项

1．一种电子部件的频率调节方法，所述方法包括下述步骤：提供将电极设置在其表面上的电子部件；通过将离子束照射在所述电极上来蚀刻放置在所述电子部件表面上的电极；其特征在于，沿着将所述电极设置在其上的所述电子部件表面的至少一个方向，至少移动所述电子部件和所述离子束中的一个，进行所述离子束照射。