发明名称 | 纳米步进定位驱动器 | ||
摘要 | 纳米步进定位驱动器,属于纳米驱动定位技术领域。其特征是采用两级步进驱动结构,压电驱动器(1)驱动夹紧于精密丝杠(3)上的一对摩擦滑块(2)作互为反向的往复平动,精密丝杠(3)通过滚珠(5)与滑柱(6)连接并置于固定螺母(4)内,滑柱(6)与全封闭式油腔(8)位移输入端的金属平膜片(7)连接,油腔(8)位移输出端的金属平膜片(9)与输出轴(11)连接。它具有驱动负载能力大、驱动定位精度高、可断电自锁的优点。 | ||
申请公布号 | CN2457741Y | 申请公布日期 | 2001.10.31 |
申请号 | CN00245049.6 | 申请日期 | 2000.11.30 |
申请人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明人 | 王皓;凌宁 |
分类号 | H01L41/08;G12B1/00 | 主分类号 | H01L41/08 |
代理机构 | 中国科学院成都专利事务所 | 代理人 | 张一红 |
主权项 | 1、包括电致伸缩材料作为动力源、由机械结构产生驱动负载能力、可断电自锁的纳米步进定位驱动器,其特征在于采用两级步进驱动结构,压电驱动器(1)驱动夹紧于精密丝杠(3)上的一对摩擦滑块(2)作互为反向的往复平动,精密丝杠(3)通过滚珠(5)与滑柱(6)连接并置于固定螺母(4)内,滑柱(6)与全封闭式油腔(8)位移输入端的金属平膜片(7)连接,全封闭式油腔(8)位移输出端的金属平膜片(9)与输出轴(11)连接。 | ||
地址 | 610209四川省成都市双流350信箱 |