| 发明名称 |
Strahlungsempfindliche Zusammensetzung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69705283(T2) |
申请公布日期 |
2001.10.31 |
| 申请号 |
DE19976005283T |
申请日期 |
1997.10.22 |
| 申请人 |
CLARIANT FINANCE (BVI) LTD., ROAD TOWN |
发明人 |
TAKEDA, TAKASHI |
| 分类号 |
C08L25/02;C08L29/04;G03F7/004;G03F7/022;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/004 |
主分类号 |
C08L25/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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