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Es werden eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Prüfen von Halbleitervorrichtungen offenbart, mit denen, nachdem ein Gut-Wert und ein Nichtgut-Wert, die jeweils einer oberen Grenze und einer unteren Grenze eines Prüfbereichs entsprechen, eingestellt worden sind, die Messung nicht an diesen Positionen ausgeführt wird, sondern die Messung mittels eines binären Suchverfahrens von der nächsten Position ausgeführt wird.
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