旋转斜细光束的薄透明层厚度的干涉测量方法及其装置

摘要

本发明属于干涉法测量技术领域，本发明包括以下步骤：１）将一细光束斜入射待测点处；２）旋转所说光束改变入射角为θ＃-[itn]；３）记录出一系列干涉光强极值所对应的斜入射角θ＃-[itn]；４）利用干涉极值条件方程计算出薄透明层厚度d。该方法不但使测量的分辨率和精密度有较大的提高，避免或降低了测量信号中的直流成分和其他干扰信号的影响，而且使其测量装置结构简单，可选用价格较低的部件，体积小，重量轻，利于在线测量。

主权项

1、一种旋转斜细光束的薄透明层厚度的干涉测量方法，其特征在于包括以下步骤：1)将一细光束以入射角为θi斜入射至透明层的待测点处；2)旋转所说光束改变入射角为θitn并使待测点位置基本不变；3)接收从待测点处反射的干涉光束，记录出一系列干涉光强极值所对应的斜入射角θitn；4)利用干涉极值条件方程计算出薄透明层厚度d；所说的待测点光束直径ω与最小斜入射θmin满足不等式：${\theta }_{\min }>\frac{0.6\omega ·n_D}{D}$ ，其中nD为薄层上表面外材料的折射率，D为被测薄层外的两厚透明层中较薄部分的厚度。