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发明名称 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BEHANDELN VON SUBSTRATEN IN EINEM FLUID-BEHÄLTER
摘要
申请公布号 DE59704724(D1) 申请公布日期 2001.10.31
申请号 DE19975004724 申请日期 1997.03.27
申请人 MATTSON WET PRODUCTS GMBH;IMEC VZW, LEUVEN HEVERLEE 发明人 WEBER, MARTIN;MEURIS, MARC;CORNELISSEN, INGRID
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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