| 发明名称 |
Method and apparatus for testing signal paths between an integrated circuit wafer and a wafer tester |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU4957801(A) |
申请公布日期 |
2001.10.30 |
| 申请号 |
AU20010049578 |
申请日期 |
2001.03.27 |
| 申请人 |
FORMFACTOR, INC. |
发明人 |
RALPH G. WHITTEN;BENJAMIN N ELDRIDGE |
| 分类号 |
G01R27/02;G01R31/28;G01R31/3167;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R27/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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