| 摘要 |
<p>본 발명은 전계 방출 디스플레이용 탄소 에미터의 제조방법에 관한 것으로서, 전극이 형성된 후면 플레이트상에 포토레지스트를 도포하여 포토레지스트 막을 형성하고, 마스크를 이용하여 상기 포토레지스트막을 노광, 현상하여 패터닝한 다음, 카본 물질, 바인더, 분산제, 순수를 포함하는 카본 슬러리 조성물을 상기 포토레지스트막에 도포하여 카본 막을 형성하고, 상기 흑연막을 에칭하여 포토레지스트를 노출시킨 다음, 노출된 포토레지스트를 스트리핑(Stripping)하는 공정을 포함하는 전계 방출 디스플레이용 탄소 에미터의 제조방법을 제공한다.</p> |
