| 摘要 |
<p>본 발명은 반도체 제조공정의 과산화수소수 분해장치에 관한 것으로, 과산화수소수를 물과 산소로 분해하기 위하여 백금 분말이 충진된 백금충진 튜브, 과산화수소수의 분해시 발생된 산소를 제거하고 분석이온을 농축시키기 위하여 백금충진 튜브와 연결된 농축 칼럼 및 과산화수소수의 분해시 발생되는 열을 냉각시키기 위하여 백금충진 칼럼의 외주면을 둘러싸도록 설치된 냉각 시스템을 포함하는 것에 의해, 과산화수소수 분해시 발생하는 산소가스를 완전히 제거할 수 있으며, 발생되는 발열 분해열 또한 냉각 시스템을 사용하여 냉각시킬 수 있다는 효과가 있다.</p> |
