发明名称
摘要
申请公布号 JP3224437(B2) 申请公布日期 2001.10.29
申请号 JP19920320095 申请日期 1992.11.30
申请人 发明人
分类号 H01L29/812;H01L21/338;H01L29/12;H01L29/778;(IPC1-7):H01L29/778 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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