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发明名称
摘要
申请公布号 JP3222620(B2) 申请公布日期 2001.10.29
申请号 JP19930126581 申请日期 1993.05.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/203;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/205;H01L21/306 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
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