Vorrichtung zum Nassätzen einer Kante einer Halbleiterscheibe,申请号DE19995000269-传众专利搜索

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发明名称	Vorrichtung zum Nassätzen einer Kante einer Halbleiterscheibe
摘要
申请公布号	DE59900269(D1)	申请公布日期	2001.10.25
申请号	DE19995000269	申请日期	1999.11.23
申请人	SEZ SEMICONDUCTOR-EQUIPMENT ZUBEHOER FUER DIE HALBLEITERFERTIGUNG AG, VILLACH	发明人	SELLMER, DIPL.-ING. (FH);KUMNIG, ROBERT
分类号	H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00	主分类号	H01L21/00
代理机构		代理人
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