| 摘要 |
<p>Es wird ein Verfahren und eine Vorrichtung beschrieben, mit der es möglich ist, ein Schichtsystem für den Verschleissschutz, Korrosionsschutz und zur Verbesserung der Gleiteigenschaften oder dergleichen zu erzeugen, welches eine Haftschicht zur Anordnung auf einem Substrat, eine Übergangsschicht zur Anordnung auf der Haftschicht und eine Deckschicht aus diamantähnlichem Kohlenstoff aufweist, wobei die Haftschicht mindestens ein Element aus der Gruppe umfasst, die die Elemente 4., 5. und 6. Nebengruppe und Silizium beinhalten, wobei die Übergangsschicht Kohlenstoff und mindestens ein Element aus der vorgenannten Gruppe umfasst und die Deckschicht aus im wesentlichen diamantähnlichem Kohlenstoff besteht, wobei das Schichtsystem eine Härte von wenigstens 15 GPa, vorzugsweise mindestens 20 GPa und eine Haftfestigkeit von wenigstens 3 HF nach VDI 3824 Blatt 4 aufweist.</p> |
