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发明名称 Halbleiter-Festwertspeicher mit in Grabenseitenwänden vertikal verlaufenden Transistoren und Verfahren zu seiner Herstellung
摘要
申请公布号 DE19640235(C2) 申请公布日期 2001.10.25
申请号 DE19961040235 申请日期 1996.09.30
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 ZIMMERMANN, ULRICH
分类号 H01L21/8246;H01L27/112;(IPC1-7):H01L27/112;H01L21/824 主分类号 H01L21/8246
代理机构 代理人
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