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Die Erfindung beschreibt ein Verfahren zum Kühlen einer eingetauchten Induktionsspule, wie etwa einer ionisierenden Spule, die eingesetzt wird in einer Vakuumverfahrenskammer. Die Spule 10 kann ein gewundenes hohles Rohr 11 umfassen, durch welche ein Kühlmittel strömen kann, wenn es durch eine Pumpe 13 gefördert wird. Ein Ventil 16 ist derart vorgesehen, daß die Luft durch das Rohr in jede Richtung zu strömen vermag, und die Richtung der Strömung wird gesteuert durch eine Steuerung 19, die auf das Ventil 16 einwirkt. Das Schaltausmaß des Ventils 16 kann bestimmt werden durch eine Verfahrensbedingung oder durch die Überwachung der Temperatur des stromabwärtigen Kühlmittels und/oder der Spule.
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