发明名称 Magnetron including open, sputtering target, transfers heat to cooling plate by thermal radiation
摘要 Heat transfer is essentially by thermal radiation.
申请公布号 DE10018858(A1) 申请公布日期 2001.10.25
申请号 DE20001018858 申请日期 2000.04.14
申请人 VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH 发明人 STRUEMPFEL, JOHANNES;ERBKAMM, WOLFGANG;HEINZELMANN, CHRISTIAN;SCHULZE, DIETMAR;LENK, PETER;HECHT, HANS-CHRISTIAN;YALE, WILLIAM
分类号 C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34;C23C14/35 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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