CVI/CVD工艺尾气处理方法

摘要

本发明涉及一种适用于工业化生产的进气为H＃-[2]，Ar和金属有机硅烷CVI/CVD工艺尾气的处理方法，也可用于其他工业化真空设备的尾气处理。本发明采用三级复合处理工艺，按油过滤器、固体过滤器和水过滤器的顺序，对CVI/CVD工艺过程之前、之中和之后进行全面的尾气处理，使尾气的排放达到环保标准。采用油过滤器去除沉积产物固体粒子和分解产物焦油：采用两级固体过滤器部分去除HCl气体和去除残余焦油；采用两台机械泵交替使用和更换泵油；采用由水环泵、循环NaOH溶液和气水分离器组成的水过滤器去除HCl气体。该方法具有安全可靠、实施方便和成本低廉等优点。$＃!

主权项

1、进气为H2,Ar和金属有机硅烷CVI/CVD的工艺尾气的处理方法，其特征在于：采用油过滤、固体过滤和水过滤三级复合过滤的方法，按油过滤、固体过滤和水过滤的顺序对CVI/CVD工艺之前添加硅烷的外逸、工艺过程之中的尾气和工艺过程之后炉内残留硅烷和HCl气体进行处理，使尾气的排放达到环保标准。