发明名称 Self-aligned unlanded via metallization
摘要
申请公布号 GB2323704(B) 申请公布日期 2001.10.24
申请号 GB19970006081 申请日期 1997.03.24
申请人 * UNITED MICROELECTRONICS, CORP. 发明人 SHIH-WEI * SUN
分类号 H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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