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发明名称
Self-aligned unlanded via metallization
摘要
申请公布号
GB2323704(B)
申请公布日期
2001.10.24
申请号
GB19970006081
申请日期
1997.03.24
申请人
* UNITED MICROELECTRONICS, CORP.
发明人
SHIH-WEI * SUN
分类号
H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
主权项
地址
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