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发明名称 LINE NARROWED F2 LASER WITH ETALON BASED OUTPUT COUPLER
摘要
申请公布号 EP1147581(A1) 申请公布日期 2001.10.24
申请号 EP19990965223 申请日期 1999.12.09
申请人 CYMER, INC. 发明人 ERSHOV, ALEXANDER I.
分类号 G02B5/28;G03F7/20;H01S3/02;H01S3/03;H01S3/036;H01S3/08;H01S3/081;H01S3/0971;H01S3/098;H01S3/1055;H01S3/137;H01S3/139;H01S3/223;H01S3/225;H01S3/23;(IPC1-7):H01S3/098;H01S3/10 主分类号 G02B5/28
代理机构 代理人
主权项
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