| 发明名称 |
SHADOW MOIRE SURFACE TOPOLOGY INSPECTION WITH CALIBRATION SAMPLES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1147368(A1) |
申请公布日期 |
2001.10.24 |
| 申请号 |
EP19990962429 |
申请日期 |
1999.12.20 |
| 申请人 |
BAE SYSTEMS PLC |
发明人 |
O'BRIEN, EDWIN W.;IBBOTSON, ANDREW R. |
| 分类号 |
G01L1/00;G01B11/16;(IPC1-7):G01B11/16 |
主分类号 |
G01L1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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