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发明名称 Wafer storage box
摘要
申请公布号 GB2324412(B) 申请公布日期 2001.10.24
申请号 GB19980008079 申请日期 1998.04.16
申请人 * NEC CORPORATION 发明人 HIROTAKA * HATADA
分类号 B03C3/017;B03C3/66;B65D85/86;H01L21/02;H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/00;B03C3/04 主分类号 B03C3/017
代理机构 代理人
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