硅溶胶－凝胶光波导的制作方法

摘要

一种硅溶胶－凝胶(sol－gel)光波导的制作方法,包含溶液配置、光波导光阻模组制作及光波导浇铸烧结成形三个步骤。该溶液配置是以水及酒精混合,再以经调整酸碱值的醇溶液与四氧基乙硅在室温下搅拌而成;该光波导光阻模组制作工艺是经软烤、曝光、显影,并用去离子水洗净经氮气枪吹干后,再硬烤完成制作;该光波导浇铸烧结成形是经旋镀处理、加热烧结,去除光阻模组等步骤,以完成一硅溶胶－凝胶光波导制作工艺。

主权项

1、一种硅溶胶-凝胶光波导的制作方法，该方法至少包含下列步骤：调配该硅胶-凝胶溶液，包含下列步骤：调配1-10克分子量(摩尔)的水及5-50克分子量(摩尔)的酒精形成醇溶液，并调整该醇溶液的酸碱值至小于PH5，将该醇溶液加入1-5克分子量(摩尔)的四氧基乙硅(TEOS)中，经搅拌均匀，以调配完成该硅胶-凝胶溶液；把一第一光阻层涂布于一硅晶圆上，并定义波导范围；把该硅溶胶-凝胶溶液填充于该定义波导范围内并烧结；去除该第一光阻层，在该硅晶圆上方形成一缓冲层；把一第二光阻层涂布于该硅晶圆与该缓冲层上，并定义波导核心层范围；把该硅溶胶-凝胶溶液填充于该定义波导核心层范围内并进行烧结；去除该第二光阻层，在该缓冲层上形成该核心层；把一第三光阻层涂布于该硅晶圆、该缓冲层与该核心层上，并定义波导被覆层范围；把该硅溶胶-凝胶溶液填充于该定义波导被覆层范围内并进行烧结；及去除该第三光阻层，在该缓冲层与该核心层上方形成该被覆层。