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发明名称 Semiconductor substrate, semiconductor device and method of manufacturing the same
摘要
申请公布号 EP0871228(A3) 申请公布日期 2001.10.24
申请号 EP19980106483 申请日期 1998.04.08
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 HASHIMOTO, TADAO;IMAFUJI, OSAMU;YURI, MASAAKI;ISHIDA, MASAHIRO
分类号 C30B25/18;H01L33/00;H01S5/02;H01S5/323;(IPC1-7):H01L33/00;H01S3/19;H01L27/15 主分类号 C30B25/18
代理机构 代理人
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