发明名称 Semiconductor device manufactoring method
摘要
申请公布号 GB2361582(A) 申请公布日期 2001.10.24
申请号 GB20000025595 申请日期 2000.10.18
申请人 * NEC CORPORATION 发明人 RYUICHI * MISHIMA
分类号 H01L21/76;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/762 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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