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发明名称 CLEANING COMPOSITION AND METHOD FOR REMOVING RESIDUES
摘要
申请公布号 EP1080170(A4) 申请公布日期 2001.10.24
申请号 EP19990924293 申请日期 1999.05.18
申请人 ARCH SPECIALTY CHEMICALS, INC. 发明人 LEON, VINCENT, G.;HONDA, KENJI;ROTHGERY, EUGENE, F.
分类号 C11D7/60;C11D1/62;C11D3/02;C11D3/06;C11D3/20;C11D3/24;C11D3/26;C11D3/28;C11D3/30;C11D3/34;C11D3/60;C11D7/06;C11D7/10;C11D7/16;C11D7/26;C11D7/32;C11D7/34;C11D11/00;C11D17/08;G03F7/42;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;(IPC1-7):C11D1/62 主分类号 C11D7/60
代理机构 代理人
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