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发明名称 TWO PIECE MIRROR ARRANGEMENT FOR INTERFEROMETRICALLY CONTROLLED STAGE
摘要
申请公布号 EP0983481(B1) 申请公布日期 2001.10.24
申请号 EP19980931685 申请日期 1998.07.01
申请人 ETEC SYSTEMS, INC. 发明人 YAO, SHI-KAY
分类号 G01B9/02;G01B11/00;G01B11/26;G03F7/20;(IPC1-7):G01B1/00 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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