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发明名称
FIELD EFFECT TRANSISTOR STRUCTURE WITH ABRUPT SOURCE/DRAIN JUNCTIONS
摘要
申请公布号
EP1147552(A1)
申请公布日期
2001.10.24
申请号
EP19990972373
申请日期
1999.11.05
申请人
INTEL CORPORATION
发明人
MURTHY, ANAND S.;CHAU, ROBERT, S.;MORROW, PATRICK;JAN, CHIA-HONG;PACKAN, PAUL
分类号
H01L29/78;H01L21/20;H01L21/336;H01L29/08;H01L29/10;H01L29/16;H01L29/161;H01L29/417;(IPC1-7):H01L21/336
主分类号
H01L29/78
代理机构
代理人
主权项
地址
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