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发明名称 PRESSURE SENSOR AND METHOD OF FORMING THE SAME
摘要
申请公布号 EP1110067(A4) 申请公布日期 2001.10.24
申请号 EP19990946594 申请日期 1999.08.12
申请人 MOTOROLA, INC. 发明人 ROSS, CARL;SCHUSTER, JOHN;DING, XIAOYI;CZARNOCKI, WALTER
分类号 G01L9/04;G01L9/00;G01L9/06;H01L29/84;(IPC1-7):G01L1/00 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
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