发明名称 | 合成喷射流角速度计 | ||
摘要 | 本发明属于传感器技术领域。本发明采用由驱动器振动膜和喷口构成的合成喷射流源,一对或者多对热敏传感器对称布置在所说的合成喷的中心线两侧,该热敏传感器的位置位于喷口直径9-15倍距离外。本发明适合于不同场合下的应用,特别是工作环境恶劣的情况。这种角速度计具有结构简单、可靠性好、灵敏度和分辨率高、成本低的特点。并可容易地实现大规模产品系列化生产。硅加工可以大大降低成本,同时能保证性能良好。 | ||
申请公布号 | CN1318751A | 申请公布日期 | 2001.10.24 |
申请号 | CN01129216.4 | 申请日期 | 2001.06.15 |
申请人 | 清华大学 | 发明人 | 罗小兵;李志信;过增元;易明;胡桅林 |
分类号 | G01P3/00 | 主分类号 | G01P3/00 |
代理机构 | 清华大学专利事务所 | 代理人 | 廖元秋 |
主权项 | 1.一种合成喷射流角速度计,其特征在于,采用由驱动器振动膜和喷口构成的合成喷射流源,一对或者多对热敏传感器对称布置在所说的合成喷的中心线两侧,该热敏传感器的位置位于喷口直径9-15倍距离外。 | ||
地址 | 100084北京市海淀区清华园 |