发明名称 合成喷射流角速度计
摘要 本发明属于传感器技术领域。本发明采用由驱动器振动膜和喷口构成的合成喷射流源,一对或者多对热敏传感器对称布置在所说的合成喷的中心线两侧,该热敏传感器的位置位于喷口直径9-15倍距离外。本发明适合于不同场合下的应用,特别是工作环境恶劣的情况。这种角速度计具有结构简单、可靠性好、灵敏度和分辨率高、成本低的特点。并可容易地实现大规模产品系列化生产。硅加工可以大大降低成本,同时能保证性能良好。
申请公布号 CN1318751A 申请公布日期 2001.10.24
申请号 CN01129216.4 申请日期 2001.06.15
申请人 清华大学 发明人 罗小兵;李志信;过增元;易明;胡桅林
分类号 G01P3/00 主分类号 G01P3/00
代理机构 清华大学专利事务所 代理人 廖元秋
主权项 1.一种合成喷射流角速度计,其特征在于,采用由驱动器振动膜和喷口构成的合成喷射流源,一对或者多对热敏传感器对称布置在所说的合成喷的中心线两侧,该热敏传感器的位置位于喷口直径9-15倍距离外。
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