发明名称 孔板机构
摘要 一种孔板机构,其可在短时间对孔板进行均匀地冷却。该孔板机构(1)包括孔板(3),该孔板具有发热元件(10);外壳(2),该外壳(2)支承上述孔板。上述孔板和外壳构成内部空间(S1)。在外壳的底壁(2a)上,形成二个进口(17)和二个底侧开口部(31)。
申请公布号 CN1319251A 申请公布日期 2001.10.24
申请号 CN00801628.3 申请日期 2000.07.17
申请人 揖斐電株式会社 发明人 古川正和;伊藤康隆
分类号 H01L21/027;H05B3/68 主分类号 H01L21/027
代理机构 北京康信知识产权代理有限责任公司 代理人 昝美琪
主权项 1.一种孔板机构,其包括外壳,该外壳具有底部和第一开口部;孔板,该孔板设置于上述第一开口部,具有发热元件,上述底部具有第二开口部。
地址 日本岐阜県