发明名称 | 孔板机构 | ||
摘要 | 一种孔板机构,其可在短时间对孔板进行均匀地冷却。该孔板机构(1)包括孔板(3),该孔板具有发热元件(10);外壳(2),该外壳(2)支承上述孔板。上述孔板和外壳构成内部空间(S1)。在外壳的底壁(2a)上,形成二个进口(17)和二个底侧开口部(31)。 | ||
申请公布号 | CN1319251A | 申请公布日期 | 2001.10.24 |
申请号 | CN00801628.3 | 申请日期 | 2000.07.17 |
申请人 | 揖斐電株式会社 | 发明人 | 古川正和;伊藤康隆 |
分类号 | H01L21/027;H05B3/68 | 主分类号 | H01L21/027 |
代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 昝美琪 |
主权项 | 1.一种孔板机构,其包括外壳,该外壳具有底部和第一开口部;孔板,该孔板设置于上述第一开口部,具有发热元件,上述底部具有第二开口部。 | ||
地址 | 日本岐阜県 |