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发明名称
摘要
申请公布号 JP3221025(B2) 申请公布日期 2001.10.22
申请号 JP19910353998 申请日期 1991.12.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;C23C16/44;C23C16/511;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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