发明名称 PROPORTIONAL MICROMECHANICAL DEVICE
摘要
申请公布号 KR20010090720(A) 申请公布日期 2001.10.19
申请号 KR1020017002836 申请日期 2001.03.03
申请人 发明人
分类号 F15C5/00 主分类号 F15C5/00
代理机构 代理人
主权项
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