STRUCTURE OF ALIGNMENT MARK

摘要

본 발명은 X축과 Y축의 위치를 동시에 계측하도록 한 정렬 마크에 관한 것으로, 폭이 같고 그 길이가 다른 정렬 마크들이 일정 간격을 갖고 X축 방향으로 배열된 X축 정렬 마크와, 상기 X축 정렬 마크에 각각 연결되며 폭이 같고 그 길이가 다른 정렬 마크들이 일정 간격을 갖고 Y축 방향으로 배열된 Y축 정렬 마크를 포함하여 이루어진다.