Vorrichtung zum Laserstrahlbelichten eines kreisscheibenförmigen Substrates und Verfahren zum zentrischen Spannen eines kreisscheibenförmigen Substrates
摘要
申请公布号
DE59607671(D1)
申请公布日期
2001.10.18
申请号
DE19965007671
申请日期
1996.11.06
申请人
BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG
发明人
HENSEL, BERND;FEICK, EBERHARD;HOFMANN, FRIEDRICH;RICHTER, DR.;KOOP, DR.
