| 摘要 |
<p>Die Erfindung schafft ein Herstellungsverfahren für ein Dünnschicht-Bauelement, insbesondere einen Dünnschicht-Hochdrucksensor, welcher ein Substrat (10, 20) aufweist, auf das mindestens eine zu strukturierende Funktionsschicht (30) aufzubringen ist, mit den Schritten Bereitstellen des Substrats (10, 20); Abscheiden (S40) der Funktionsschicht (30) auf dem Substrat (10, 20); und Strukturieren der Funktionsschicht (30) durch eine Laserbearbeitung (S50), wobei die Laserbearbeitung selektiv gegenüber dem Substrat (10, 20) ist.</p> |
