发明名称 |
ALUMINIUMNITRID SINTERPRODUKT UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DESSELBEN |
摘要 |
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申请公布号 |
DE69522674(D1) |
申请公布日期 |
2001.10.18 |
申请号 |
DE19956022674 |
申请日期 |
1995.11.30 |
申请人 |
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI |
发明人 |
KOMATSU, MICHIYASU |
分类号 |
C04B35/581;(IPC1-7):C04B35/582;H01L23/15 |
主分类号 |
C04B35/581 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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