| 摘要 |
<p>Die Erfindung schafft ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelementes mit den Schritten: Bereitstellen eines Substrats (1); Vorsehen einer ersten mikromechanischen Funktionsschicht (5) auf der Opferschicht (4); Strukturieren der ersten mikromechanischen Funktionsschicht (5) derart, daß sie eine beweglich zu machende Sensorstruktur (6) aufweist; Vorsehen und Strukturieren einer ersten Verschlußschicht (8) auf der strukturierten ersten mikromechanischen Funktionsschicht (5); Vorsehen und Strukturieren einer zweiten mikromechanischen Funktionsschicht (10) auf der ersten Verschlußschicht (8), welche zumindest eine Abdeckfunktion aufweist und zumindest teilweise in der ersten mikromechanischen Funktionsschicht (5) verankert wird; Beweglichmachen der Sensorstruktur (6); und Vorsehen einer zweiten Verschlußschicht (8) auf der zweiten mikromechanischen Funktionsschicht (10). Die Erfindung schafft ebenfalls ein entsprechendes mikromechanisches Bauelement.</p> |
