| 摘要 |
<p>Bei in hybrid integrierter Mikroaufbautechnik hergestellte Mikrofunktionseinheit, umfassend in der Mikroaufbautechnik verwendbare und die Funktion der Mikrofunktionseinheit mitbestimmende Mikrokomponenten und mindestens einen ein Flachmaterialstück umfassenden Träger zur Aufnahme der Mikrokomponenten, besteht das Problem, mindestens einige der Mikrokomponenten exakt relativ zum Träger zu positionieren, welches dadurch gelöst wird, dass aus dem Flachmaterialstück des jeweiligen Trägers durch zwei einander gegenüberliegende, den gesamten Träger durchsetzende Durchbrüche ein freigestellter Finger gebildet ist und dass der Finger als Halteelement für eine der Mikrokomponenten dient.</p> |
