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发明名称
Vorrichtung zur Zuführung eines festen Werkstoffes in einen Ofen
摘要
申请公布号
DE69613654(T2)
申请公布日期
2001.10.18
申请号
DE19966013654T
申请日期
1996.10.17
申请人
MEMC ELECTRONIC MATERIALS, INC.
发明人
WILLIAMS, DICK S.;LUTER, WILLIAM L.
分类号
C30B15/02;C30B29/06;C30B35/00;F27B14/16;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/02
主分类号
C30B15/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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