发明名称 CVD PROCESS USING BI ALCOXIDES
摘要
申请公布号 EP1144716(A2) 申请公布日期 2001.10.17
申请号 EP19990961941 申请日期 1999.12.06
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG;ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 发明人 HINTERMAIER, FRANK, S.;VAN BUSKIRK, PETER, C.;ROEDER, JEFFREY, F.;HENDRIX, BRYAN, C.;BAUM, THOMAS, H.;DESROCHERS, DEBRA, A.
分类号 C23C16/18;C23C16/40;C23C16/448;C23C16/56;H01L21/314;H01L21/316;(IPC1-7):C23C16/00 主分类号 C23C16/18
代理机构 代理人
主权项
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