发明名称 |
RETICLE, WAFER AND METHOD FOR DETERMINING AN ALIGNMENT ERROR IN A STEPPER |
摘要 |
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申请公布号 |
EP1145082(A1) |
申请公布日期 |
2001.10.17 |
申请号 |
EP20000977261 |
申请日期 |
2000.09.26 |
申请人 |
PHILIPS SEMICONDUCTORS INC. |
发明人 |
LEROUX, PIERRE |
分类号 |
G03F7/22;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
G03F7/22 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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